积极开拓新兴
市场应用，微导纳米2023年净 利润增长399%

2024年4月(yuè)28日晚间(jiān)，微导纳米公布(bù)2023年报及2024年一季报。2023年全年，公司实现营业收入16.80亿元，同(tóng)比增长145.39%。实现(xiàn)归母净利润2.70亿元(yuán)，同比增长
399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季(jì)度，微导纳米营业收(shōu)入达1.71亿(yì)元，同比增长125.27%；归母净利润达357.34万元，相比去(qù)年同期(qī)，实现(xiàn)扭亏为盈，公(gōng)司业务呈现高速增长态势。

报告(gào)期内，得(dé)益于微导纳米在(zài)薄(báo)膜技术领域的不断突破，以及公司在全球化发展和多元化布局上的努(nǔ)力，微导纳米在实(shí)现产(chǎn)品工艺(yì)优化升级的同时，客户群体覆盖(gài)度也在进一步扩大，业务呈(chéng)现良好发展态势(shì)、市场竞争力、运营效率持续提升，有力推(tuī)动了订单规模和经营业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜平台化(huà)战(zhàn)略，赋能多元化产业发展(zhǎn)

微导纳米是一家(jiā)面向(xiàng)全球的半(bàn)导体、泛半(bàn)导(dǎo)体高端微纳装备制造(zào)商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空(kōng)薄膜技术梯次发展的技术(shù)平台体系，专注于先进微米级、纳米级
薄膜(mó)设备的研发、生(shēng)产与
销售(shòu)，向下游客户提供尖(jiān)端薄膜
设备、配套产品及服务。

长期以(yǐ)来，微导纳米坚持以(yǐ)ALD为(wèi)核心，CVD等多种(zhǒng)真空薄膜技术梯次发展
技术平台(tái)体系，凭 借在 新兴应用领域的前瞻性战略布局，微导纳米开发的薄膜沉(chén)积技术及设备(bèi)，目前已广泛运用于半导体(tǐ)、光伏及新兴应用领(lǐng)域，并(bìng)取得亮眼表现。

积极积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%"text-align: left">在半导体领域，微导纳米构建了以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展 技术平(píng)台体系，公司半导体(tǐ)集成电路产品涵盖逻辑、存储、化合物半导(dǎo)体、新型显示等诸多细分应用领域(yù)。在光伏领域(yù)，公司(sī)ALD设备的市场占有(yǒu)率保持领先
，实现了(le)对(duì)TOPCon产线真 空类设备的全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙(gài)钛矿叠层等电池(chí)技术领域均(jūn)有产品储备(bèi)、布局和出货。在新兴应用领域，2023年，微导纳(nà)米已在光学、柔性电子、车规级芯(xīn)片等(děng)几个极具市(shì)场潜力的薄(báo)膜沉积技术应用前沿领(lǐng)域 开始获得客户订单。

得益于ALD+CVD等镀膜(mó)平台化战略，微导纳(nà)米2023年成绩亮眼。业绩(jì)报告显示，2023年，公司新增订单总(zǒng)额(é)约(yuē)64.69亿元，是去(qù)年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订(dìng)单），其中光伏在手订单70.26亿元，半(bàn)导体在手订单(dān)11.15亿(yì)元，产业化中(zhōng)心新兴应用领(lǐng)域在手订单0.50亿元。

下游业务迎(yíng)来突破性
发展，微导纳
米积极开拓新兴市场应用

在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉(chén)积(ALD)设备应用于集成电路制(zhì)造前道生产线的国产设备厂(chǎng)商。同时，2023年7月，微导纳米首台半导体CVD薄膜沉(chén)积(jī)设备顺利发货至客户端，旨在(zài)通(tōng)过差异(yì)化策略开发出
市场亟需的CVD领(lǐng)域高端设(shè)备，解决关(guān)键工艺的市场空白。

根据SEMI行(xíng)业统计，ALD约 占半导体镀膜板块的11%~13%市场份额，未来几年将保持高速增长，复(fù)合增长(zhǎng)率高达26.3%；CVD约占(zhàn)半导体镀膜(mó)板 块的57%市场份额，未来(lái)几年的复合增(zēng)长率约为8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积(jī)技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%、SiGe等薄膜材料。

在光伏领域(yù)，2023年11月，微 导纳米自主(zhǔ)研发的(de)钙 钛矿晶硅叠层电池专用ALD量产设
备，顺利发至海外客户。2024年3月，微导纳米成(chéng)功研发出首台适 用于大面积百兆
瓦钙钛矿电池生(shēng)产的专用量产型原子层沉积(ALD)设(shè)备，并已顺利发货(huò)至业内领军企业。

值得一提的是，报告
期(qī)内，微(wēi)导纳米新(xīn)增立(lì)项多(duō)项新兴产业应用项目，分布(bù)于(yú)柔(róu)性镀膜、芯片封装(zhuāng)、光学超低减反膜沉积、新能源等细分
应用领域镀(dù)膜环节(jié)。截至目前，微导(dǎo)纳米自主研发的柔性电子二代机、应用于车规级芯片ALD设备以及首台光学(xué)领域镀膜设备已顺利发货，其(qí)中车规(guī)级芯(xīn)片ALD设备(bèi)出(chū)口海外。2024年1月，微导纳米创新研发的ALD量产(chǎn)设备顺利发往欧洲某头部芯片(piàn)封装(zhuāng)客户，实现(xiàn)国产高端设备出口 海外。

图(tú)：薄膜沉积技术在部分新兴领域的应用(yòng)场景

微导(dǎo)纳米在财报中表示，公司将继续依托产业化应用中心(xīn)持续探索尖端薄膜沉积技(jì)术在各新兴应用领域的发展机会(huì)，并逐步开展产品(pǐn)应(yīng)用验证，持续推动新兴产业(yè)的技术进步。

持续加(jiā)码技(jì)术研(yán)发，深挖薄膜(mó)沉积(jī)设(shè)备技术护城河

近年来，微导纳米以ALD技(jì)术为(wèi)核心的薄膜沉积技(jì)术领(lǐng)域形成了多项(xiàng)核心技术和(hé)科技成果(guǒ)，并成功将其应(yīng)用(yòng)于主营(yíng)业务，实现了科技成果(guǒ)与产业的深度融合(hé)。与(yǔ)此同时，微导纳米始终坚持自主创新、持续加大研发投入，持续探索技术边界，积极(jí)应对市场需求的变化，不断拓宽并(bìng)深化在产业前瞻(zhān)领域(yù)的技术(shù)应用(yòng)，力(lì)求实现更广泛(fàn)的技术创(chuàng)新与产业融合。

2023年，微导纳米研发投(tóu)入3.08亿元(yuán)，占营(yíng)业收入比例达18.34%，其中约 50%投向半导体领域，包(bāo)括逻辑、存储、新型显示器、化合物半(bàn)导体等项目；光伏领(lǐng)域研(yán)发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层(céng)电池等新一代高效电池技术等项目。研(yán)发队伍人员不断增加，研发人员达到429人，同比增长78.01%。

得益于公司对研发的(de)重视及在研发投入(rù)上的不 断加码，2023年，微导纳米新增各类专
利申请146项，新增专利授权35项(xiàng)，累计授权专利达到137项，逐步形成了薄膜沉积反
应器设计技术、基于原子(zi)层沉(chén)积的高效电池技术、柔性材料(liào)制备技术、薄膜封装技术等十大核心技(jì)术。

凭(píng)借坚持执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导纳米(mǐ)正持续在新兴领域进(jìn)行前沿化开发，为公(gōng)司未来发展创造更多 收入增长极。此(cǐ)外，在技(jì)术协(xié)同效应进一步(bù)显现下(xià)，微导(dǎo)纳(nà)米(mǐ)通过跨行业的业(yè)务分布，拥有了较强(qiáng)的穿越行业周期的能力，公司的(de)抗风险能力(lì)得到(dào)进(jìn)一步提(tí)升。未来，随着其他新兴技术市(shì)场的发展，微导纳米(mǐ)作为平台型的(de)关键设备供应商的优势(shì)将进一步显现。（齐和(hé)宁）

校对：苏焕文

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